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等离子[体]刻蚀
规范用词等离子[体]刻蚀
英文对照plasma etching
所属学科电子学 > 电子元器件工艺与分析技术
名词审定电子学名词审定委员会
见载刊物《电子学名词》 科学出版社
公布时间1993年
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