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溅射清洗
规范用词溅射清洗
英文对照sputtering cleaning
名词定义利用离子轰击溅射作用，对材料表面进行清洁处理的过程。
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名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
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