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绝缘体上硅
规范用词绝缘体上硅
英文对照silicon on insulator;SOI
名词定义底部为衬底材料，顶部为硅单晶层，中间夹有二氧化硅等绝缘层的三层结构。
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
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