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常压金属有机化学气相沉积
规范用词常压金属有机化学气相沉积
英文对照atmospheric pressure metalorganic chemical vapor phase deposition
名词定义在常压条件下,将金属有机化合物通过气相输运到材料的衬底上的工艺。生长的薄层不一定是单晶。
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
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