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光刻胶
规范用词光刻胶
英文对照photoresist
中文又称光致抗蚀剂
所属学科电子学 > 电子元器件工艺与分析技术
名词审定电子学名词审定委员会
见载刊物《电子学名词》 科学出版社
公布时间1993年
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