机械工程机械制造工艺与设备表面工程气相沉积
物理气相沉积 physical vapor deposition 物理气相沉积的意思 physical vapor deposition的意思 物理气相沉积的英文
物理气相沉积
规范用词物理气相沉积
英文对照physical vapor deposition
名词定义用物理方法(如蒸发、溅射等)，使镀膜材料汽化在基体表面，沉积成覆盖层的方法。
中文又称PVD法(PVD）
所属学科机械工程 > 机械制造工艺与设备 > 表面工程 > 气相沉积
名词审定机械工程名词审定委员会
见载刊物《机械工程名词（第二分册）》 科学出版社
公布时间2003年
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