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离子中和谱法
规范用词离子中和谱法
英文对照ion neutralizing spectrum
名词定义用单能惰性气体离子束轰击试样表面，当入射的离子从试样的表面的原子中获取一个电子而被中和时，能激发出俄歇电子，通过测量该俄歇电子的能谱，分析试样表面电子状态、吸附状态、成分和能带的电子能谱法。
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名词审定机械工程名词审定委员会
见载刊物《机械工程名词（第三分册）》 科学出版社
公布时间2003年
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