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二次离子谱法
规范用词二次离子谱法
英文对照secondary ion spectroscopy
名词定义对试样被激发射出的二次离子束进行质荷比的测量，分析试样表面元素分布和深度元素分布的能谱法。此法能分析所有元素和同位素。
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名词审定机械工程名词审定委员会
见载刊物《机械工程名词（第三分册）》 科学出版社
公布时间2003年
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