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局部平整度
规范用词局部平整度
英文对照site flatness
名词定义在合格质量区内，一个局部区域的总指示读数的最大值。
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
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- 平整度flatness
- 局部平整度site flatness
- 锥度taper
- 总指示读数total indicator reading;TIR
- 表面织构surface texture
- 表面织构主方向lay
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- 非线性厚度变化nonlinear thickness variation;NTV
- 晶片机械强度mechanical strength of slices
- 边缘去除区域edge exclusion area
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- 介质绝缘晶片delectric insolation wafer
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- 埋层buried layer
- 平均粗糙度average roughness
- 微粗糙度microroughness
- 吸除gettering
- 本征吸除intrinsic gettering
- 非本征吸除extrinsic gettering
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- 热生长氧化物thermally grown oxide
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