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本征吸除
规范用词本征吸除
英文对照intrinsic gettering
名词定义利用硅片自身的因素引起的吸除效应。如采用高-低-高三步热处理工艺在硅片内部形成高密度的氧沉淀，吸除硅片有源区有害杂质。
中文又称内吸除
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
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