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抛光片
规范用词抛光片
英文对照polished wafer
名词定义经过单面或双面化学机械抛光加工的半导体晶片。
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年
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